一、基本配置

1．真空室：直径400 * 高度500mm，立式安装，单层304不锈钢。顶部设计金属离子源接管，侧面设计分子泵接管，前端大开门，方便样品取放。

2．抽气系统：FF150分子泵1300L/s + TRP36直连泵9L/s+高真空插板阀+挡板阀+管道。

3．离子源：高能金属离子源一套。

4．真空测量：数显复合真空计。

5．样品台：水冷样品台一个。

6．电源及控制系统：配备高能金属离子源电源，设备一体化机柜设计，PLC+PC控制系统。

高能金属离子源：加速电压10-50kV，束斑直径100mm，在100mm束斑直径范围内离子流可达5mA。具有阴极自动推进功能，可连续运行时间大于10小时，金属源阴极寿命大于20小时；具有注入剂量检测和控制；可精确控制注入时间（秒量级）。