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| 产品名称： |
高能金属气体双源离子注入机/设备/系统 |
| 产品简介： |
一、基本配置
1．真空室：直径600 * 长度800mm，卧式安装，单层304不锈钢。顶部设计气体离子源和金属离子源接管，侧面设计分子泵接管，两端大开门，方便样品取放。
2．抽气系统：FF250分子泵2000L...... |
| 详细信息 |
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| 产品名称： |
高能金属MEVVA离子注入机/设备/系统 |
| 产品简介： |
一、基本配置
1．真空室：直径400 * 高度500mm，立式安装，单层304不锈钢。顶部设计金属离子源接管，侧面设计分子泵接管，前端大开门，方便样品取放。
2．抽气系统：FF150分子泵1...... |
| 详细信息 |
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