开发了一种新的超快速 HiPIMS 电源,以满足未来 HiPIMS 流程的需求。 它是一款适用于研发部门和学术界的 6 kW HiPIMS 装置,适用于尺寸达 500 cm2 或约 10 英寸圆形目标的磁控管。
HiPSTER-1
HiPSTER-1BiPolar
HiPSTER-6BiPolar
HiPSTER-10