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高功率HiPIMS技术
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  HiPSTER-1BiPolar
产品详细

我们的 HiPSTER BiPolar HiPIMS 装置属于新一代 HiPIMS 技术。 它们由该领域的专家设计,在等离子工艺开发和薄膜沉积方面拥有出色的记录,以生成稳健且可重复的 HiPIMS 工艺。

规格参数


输出参数:

电源功率:1000W;峰值电压:1000V;峰值电流:100A ;调节方式:电压,电流,功率,脉冲电流;

脉冲频率:50-10000 Hz;短路保护:响应时间<2us;

输出负脉冲参数:

输出峰值电压:1000V;输出峰值电流:100A;脉宽:3.5us-1000us;

输出正脉冲参数:

输出峰值电压:300V;脉宽:1.5us-500us;脉宽延时:1.5us-500us;

输入参数:   

HiPSTER-6

   


输入电压:单相电压 100-240VAC,50/60Hz;输入电流(230V):0.3A;直流充电输入:最大1000V,正极接地。

触发输入:+5V(参考地)CMOS信号输入;远控:RS-232;

规格尺寸:

19'' 机架(3U);体积:135mm(H)*483mm(W)*390mm(D);重量:8Kg;






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