一、基本配置

1．真空室：直径600 * 长度800mm，卧式安装，单层304不锈钢。顶部设计气体离子源和金属离子源接管，侧面设计分子泵接管，两端大开门，方便样品取放。

2．抽气系统：FF250分子泵2000L/s + TRP90直连泵25L/s+高真空插板阀+挡板阀+管道。

3．离子源：高能金属离子源一套，高能气体离子源一套。

4．真空测量：数显复合真空计

5. 送气系统：一各截止阀+一个质量流量控制器和相关管道

6．样品台：水冷加热两用样品台一个，需手动更换样品台台面。可平移定位到气体离子源和金属离子源正下方。

7．电源及控制系统：配备高能金属离子源和气体离子源电源，设备一体化机柜设计，PLC+PC控制系统。

高能金属离子源：加速电压10-50kV，束斑直径100mm，在100mm束斑直径范围内离子流可达5mA。具有阴极自动推进功能，可连续运行时间大于10小时；具有注入剂量检测和控制；可精确控制注入时间（秒量级）。

高能气体离子源：加速电压10-80kV，束斑直径100mm，在100mm束斑直径范围内离子流可达5mA。具有注入剂量检测和控制。