四面体无定形碳（ta-C）又称非晶钻石膜，由于其极高的硬度、低摩擦系数和耐磨损、化学性质稳定、高电阻率、高导热、耐冲击等特征，在各类工业零部件上得到了广范的应用。

深圳万利福科技有限公司基于过滤真空阴极弧FCVA镀膜技术，自行设计制造真空镀膜设备，该设备适用于ta-C涂层的研发和批量处理：

Ø  配备3套FCVA源

Ø  配备1套磁控溅射源

Ø  配备DC /脉冲基片偏压电源

Ø  真空腔室：～F500 mm x 450 mm，双壁水冷不锈钢

Ø  1套抽真空系统包含节流阀，预抽阀，前级阀，涡轮分子泵和前级泵等

Ø  极限真空优于2.0×10^-4Pa

Ø  1套真空测量系统，包含1个离子规和2个匹纳尼规

Ø  2套质量流量控制器MFC

Ø  1套4工位公/自转工件架

Ø  触摸屏PLC计算机控制，手动/自动工艺控制

本公司已成功使用过滤阴极真空电弧FCVA涂层系统在各种基材上制备了厚度为0.1微米至5微米以上的 ta-C 涂层。通过万利福获得的 ta-C 膜具有高达70-85％的四面体（sp3）键。ta-C 涂层的硬度高于60GPa，摩擦系数低于~0.1，在10N的载荷力下，磨损率低于<1.5x10e-7 mm3 / m-N。另外，涂层与基材进行洛氏试验能达到HF1粘合性的等级。

ta-C 涂层的应用：

• PCB 钻头钻针
• 缝纫部件
• 精密模具
• 切削刀具
• 汽车部件
• 耐磨部件

在高速钢上镀 ta-C 膜具有强附着力、高硬度、低摩擦系数。