磁过滤阴极弧具有离化率高，离子能量较大，适用于绝大多数金属与合金材料。通过电磁过滤优化，可以很好地过滤电弧产生的液滴，提高了薄膜质量。

如果采用碳C做为阴极，本公司的过滤弧源可以用于制备超硬四面体 ta-C 碳膜。

技术参数：

• 电弧电压：20V - 80V
• 电弧电流：20A - 100A
• 可调节聚焦磁体、引弧磁体
• 水冷阴阳极
• 气动触发
• 阴极尺寸：顶部F50mm x 底座F70mm x 高度50mm
• 过压、过流、缺水等保护
• 电源输入：三相380V，50Hz，60A
• 电源柜尺寸：高330mm x 宽480mm x 深700mm