金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子注入是一种先进的强流、大面积视线加工处理新技术。设备配置了MEVVA离子源，它将工作介质（各种金属、碳、导电化合物）作为阴极，进行真空弧放电产生高密度等离子体，在高真空静电场下，引出并加速形成高能强流金属离子束，载能离子轰击注入被处理工件表面，引起材料表面成份和结构变化，从而提高耐磨、耐蚀、抗疲劳、抗氧化等性能，达到延长寿命、节约材料和降低成本之目的。由于该技术处理温度较低（<300℃），不改变工件的外型尺寸和表面光洁度，特别适用于处理高精度部件，如工模具和精密运动部件等。另外，MEVVA金属离子注入也在半导体掺杂、金属、陶瓷、玻璃、复合物、聚合物、矿物材料表面改性及植物种子改良上有广泛应用前景。

作为一种材料表面工程技术，离子注入技术具有以下一些其它常规表面处理技术难以达到的独特优点：

　　（1）它是一种纯净的无公害的表面处理技术；

　　（2）无需热激活，无需在高温环境下进行，因而不会改变工件的外形尺寸和表面光洁度；

　　（3）离子注入层由离子束与基体表面发生一系列物理和化学相互作用而形成的一个新表面层，它与基体之间不存在剥落问题；

　　（4）离子注入后无需再进行机械加工和热处理。

本公司的MEVVA离子源主要由金属离子源头部电源、离子引出电源、离子抑制电源及离子源的参数测量系统、辅助电源系统等组成。电源控制主要是触摸屏+PLC，界面操作简易。

主要功能：

• 脉冲阴极弧放电，频率、脉宽和弧压可调
• 实时监控注入计量及脉冲个数，可自动控制注入计量
• 注入电压调节范围大，本公司有多种MEVVA离子源型号：

  MEVVA10，电压调节范围为2kV-10kV；

  MEVVA15，电压调节范围为3kV-15kV；

  MEVVA30，电压调节范围为5kV-30kV；

  
  

  MEVVA50，电压调节范围为20kV-50kV；MEVVA80，电压调节范围为30kV-80kV
• 超大离子束斑易于大面积高效率注入处理，根据法兰尺寸，可设计不同的离子束斑

分体机箱

一体机柜

80kV 金属源分体机箱