微弧氧化（Micro-arc Oxidation； MAO）技术，又可称为电浆电解氧化 (Plasma Electrolytic Oxidation) 及阳极火花沉积 (Anodic Spark Deposition)，目前较常应用在铝、镁、钛合金上。微弧氧化技术于80年代开始研发，其出发点是来自于阳极处理的衍伸，当基材浸入电解液后，经由正极试片、负极电极的情况下，通电流以后在基材的表面会形成一层氧化膜绝缘层，有了这层氧化膜基层之后，再持续的通以电压。当基材上的电压值超过了临界值以后，在绝缘膜上较脆弱的地方就会被击穿，产生微弧放电现象。而当氧化膜的绝缘膜上较脆弱的地方被击穿后，在击穿的地方随即又形成一层新的氧化膜，持续通以电压的话，则微弧放电的击穿点又会移至整体试件较脆弱的地方继续击穿。在击穿的过程中，些许较为薄弱的区域被几百伏特的电压击穿，会形成一个高温高压的电浆区，进而发生熔融现象，将电解液气化后，在熔融状态下的铝合金即会跟电解液中的氧自由基结合，在表面产生硬度较高的α-Al2O3 及γ-Al2O3，使氧化物的结构产生变化。